▷표면에 있는 10㎛ 이하의 흠, 또는 미립자를 확인할 수있는 표면검사용 UV램프이다.
▷500㎛ 이하의 파장을 차단함으로써 레지스트를 감광하지 않는다.
▷눈에 부드러운 황녹색의 빛으로 육안검사를 하여도 인체에 무해하다.
▷밝기 조절이 가능하여 최적의 조건을 선택할 수 있다.
▷램프 냉각용 팬을 끄면 크린룸에서 사용할 수 있다.
▷CCD 카메라와 TV 모니터로 상처와 얼룩의 확인이 가능하다.
◆사양
▷램프수명 : 연속점등시 10,000시간
▷점등방식 : 전자점등식
▷교환램프 : 100W 특수램프
▷조도 : 36,000Lx(Volume 최대시 직하 45cm)
▷조광 : 35∼100W
▷냉각팬 : ON/OFF 스위치
▷크기 : ⊙전원부 / 180x230x162mm, ⊙광원부 / Φ145x240mm
▷중량 : 8.5kg
▷전원 : 100V 50/60Hz
▷적용 : 실리콘웨이퍼, 글라스웨이퍼, 터치패널, 태양전지, 액정필터, 칼라필터, 세라믹, 포토마스크, 금속표면(Al, SUS, Cu 등)의 검사 |
